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迈可诺技术有限公司
主营产品:匀胶机,等离子清洗机,旋涂仪,光谱仪,单色仪,光电二极管,Cargille光学试剂,
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您现在的位置:迈可诺技术有限公司 >> 产品展示 >> 蚀刻和剥离系统 CESx124
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地 址:北京海淀区知春路紫金数码园3号
以下是百度推荐信息
产品展示
产品名称: 蚀刻和剥离系统 CESx124
产品编号: CESx124
产品商标:
产品规格:
参考价格: 面议
更新日期: 2021/2/20 9:55:27
被阅次数: 218次
详细说明
特点:
专为重要控制和安全而设计的系统。
多达9x9英寸/ 300mm直径的基板兼容性。
主轴组件具有直流无刷伺服电机,可实现*的速度控制和分度。
特氟龙涂层不锈钢臂可调节臂速度和行进位置。
径向排气腔,用于*大层流,盖子顶部有N2进料。
DI-H20加热器,用于清洁和干燥辅助。
过程中包含化学相容性材料PVDF或可选的PTFE。
独立式聚丙烯柜。
微处理器控制功能可以在存储器中保留三十(30)步的配方,每个配方有三十(30)步。配方和步骤的数量均可根据要求扩展。
内置安全联锁和双重控制。
用联锁装置冲洗整个工艺区域和基材的pH值,以禁止进入工艺区域并控制排放和主轴转速直到安全。
按钮盖打开/关闭。
触摸屏图形用户界面(GUI),易于编程和安全锁定,并带有屏幕错误报告。
用于化学和房屋排水的排水分流阀。
设计符合SEMI S2 / S8准则。
技术参数:
产品:蚀刻和剥离系统
型号:CESx124
可用机械臂:4
*大基板尺寸:13英寸直径
*大主轴速度:2500
配方:高达30
分配管路:12
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